長(cháng)度約6.8米氮氣純化手套箱設備

長(cháng)度約6.8米氮氣純化手套箱設備

l  設備組成：包括不限于手套箱主體、可拆卸帶手套的可視安全玻璃視窗、過(guò)渡艙、氮氣循環(huán)凈化系統、真空系統、PLC控制顯示操作系統、儲物支架等

2.手套箱主體規格

l  手套箱主體尺寸規格：長(cháng)度約6.8米(實(shí)際長(cháng)度以量測為準)；寬度約1米(實(shí)際寬度以手套箱內部設備尺寸位置)，高度不能不超過(guò)2米；與真空腔室對接的手套箱尺寸長(cháng)度約1.3米；

主體材質(zhì)： 不銹鋼；

l  安全觀(guān)察窗：配合操作，需要搭配多個(gè)安全觀(guān)察窗，安全觀(guān)察窗材質(zhì)鋼化玻璃；

l  安全觀(guān)察窗手套接口規格：數量以方便操作為主，接口需潤滑性好、易于維護、密封性能好；

l  手套材質(zhì)：丁基橡膠；數量以實(shí)際需求為主；

l  照明系統：為便于工作，手套箱內需有照明系統；

l  電源接口：為便于后期使用，手套箱內需預留電源接口；

l  壓力計：實(shí)時(shí)監控手套箱內壓力；

l  儲物架：普通位置至少2層的擱置物品的支架，材質(zhì)不銹鋼；儲物架可拆卸，不需要的手套箱可以拆卸掉；另外，在連接G13前端的位置處要有8個(gè)可以暫放基板框架的儲存架，儲存架長(cháng)寬約35cm*35cm；(細節需要討論)

l  預留KF40標準接口：每個(gè)工位預留不少于3個(gè)；

l  設備顏色：油漆部分不能有脫落、污漬；

l  不銹鋼支架：帶便于推動(dòng)的萬(wàn)向輪，有調節水平的腳座；

l  備件：5雙備用手套；

l  過(guò)渡倉規格：按照實(shí)際需求，設計大小過(guò)渡倉，過(guò)渡艙帶壓力表、進(jìn)出氣接口等；過(guò)渡艙與手套箱焊接必須密封；

l  對接規格：(如示意圖)

a.手套箱需要與前端G11設備的loadlock-1進(jìn)行對接，此處我方無(wú)圖紙，需要手套箱廠(chǎng)商根據實(shí)物自行設計圖紙并完成對接方案；LL-1處已有手套箱，手套箱內有3臺設備，舊手套箱拆除后，內部3臺設備需要保留，保留的設備要放入新手套箱內，屆時(shí)中標的新手套箱廠(chǎng)商要負責3臺設備的移入和對接(如管路、線(xiàn)路、信號等)；

b.手套箱需要與后端G13設備的loadlock-3進(jìn)行對接，此處我方有圖紙，需要手套箱廠(chǎng)商根據實(shí)物和圖紙完成對接方案；另，LL-3處有傳送基板的滾輪，手套箱廠(chǎng)商需要根據LL-3的需求，預留按照滾輪的位置和空間；

c.手套箱中間部位需要外接真空設備的loadlock-2，手套箱廠(chǎng)商需要配合真空設備的法蘭或閘閥完成對接方案；

d.手套箱前后對接的G11設備和G13設備已經(jīng)固定，手套箱廠(chǎng)商需要根據實(shí)際狀況自行設計方案，在不移動(dòng)設備的前提下完成設備對接；真空設備目前采購中，會(huì )從示意圖loadlock-2位置進(jìn)行對接，手套箱廠(chǎng)商要配合真空設備完成loadlock-2的對接；

e.手套箱的主要責任區域為如下圖中的黃色標識區域。